真空泵是一种将气体从封闭空间中排出的装置，因此能够制造低压或真空。真空泵可以大致分为干式真空泵和油封式真空泵两种，但无论哪种真空泵，其工作原理基本相同。
其工作原理是将一定范围内的气体物理过程跳跃或者连续地减压，吸收或者排放气体蒸发。真空泵可能会把气体摄入或推出被抽空的室内，因此，减压后气体的局部密度下降。真空泵所产生的真空通常指的是较低的气压，而不是绝对真空。
干式真空泵的工作原理是原理是将气体与叶轮高速运转时所扫过的空间之间转化动能和压力能，以达到减压和排气的目的。当压缩机将气体压缩后送至真空泵内，进入旋转偏心的离心叶片与固定的泵室壁之间形成吸排气腔。一端靠近吸入口，另一端靠近排气口。腔内气体随着叶轮的转动，由吸入口接腔吸入，随后，由外缘向中心区域的推移，并沿叶面环状排出。经过一系列的吸入、转移和排出过程，最后被排出真空泵外，从而达到减压脱气的目的。
